L'interazione dei raggi X con il silicio può essere riassunta nei 3 punti riportati in questa figura.
l'interazione avviene con X molli (range 1 - 100 Å);
il numero di cariche che vengono generate seguono la legge che per una energia di 3.65 eV viene generata una carica (fotoni con energia di 5.9 KeV (Fe55) producono 1620 e-);
la nuvola di elettroni generata ha un diametro minore di 1 micron.
Per avere il massimo dell'efficienza quantica nell'X, tali CCD devono essere retro-illuminati in modo da evitare gli effetti degli elettrodi, e devono essere realizzati con silicio (epitassiale) che abbia una resistività maggiore di 1500 Ohm x cm, in modo che l'area sotto ciascun elettrodo sia completamente svuotata e quindi non presenti regioni libere in cui le cariche si possano ricombinare o disperdere in più di un pixel.
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